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产品中心 · product center
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电源
HPS系列
HPS系列
HPS系列
基于爱发科多年的技术积累和成果，该电源兼容电子束蒸发源，可稳定电路并提高性能。当与 EGC-10GS 电子束枪控制器结合使用时，它可用于光学薄膜电子束枪和金属薄膜电子束枪。
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EGO系列
EGO系列
EGO系列
这款高度可靠的 EB 喷枪基于 ULVAC 多年的技术，专为光学领域而开发。
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EGN 系列
EGN 系列
EGN 系列
EGN 系列是新开发的金属气相沉积电子束蒸发源，专注于提高可维护性。采用平顶结构，减少了与电子束蒸发源的粘附面积，实现了高可维护性。
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RFS-N 系列
RFS-N 系列
RFS-N 系列
RFS-N 系列是 13.56MHz、0.5kW/1/kW/3kW/5kW 输出射频电源，用于等离子体处理。 配备高效射频放大器，体积小、重量轻。
此外，射频电源具有内置的自动匹配控制器功能，因此可以只用主机来控制射频电源和匹配系统的功率。
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SG-10系列
SG-10系列
SG-10系列
它专为等离子体生成而设计，例如 LF 电源、双阴极溅射、等离子体 CVD 等，并且可以连续输出 20 kHz 至 100 kHz 频率的额定功率，用于等离子体负载。 它是一种高度可靠的电源，通过在设计中体现我们多年积累的专业知识，包括电源的应用，非常适合等离子负载。
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DC PULSE 系列
DC PULSE 系列
DC PULSE 系列
该电源在设定的周期内反转输出电压，并抵消目标表面的电荷积累（充电），从而抑制异常放电并提高良率和吞吐量。
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