ULVAC制造和销售IGZO TAOS（使用In，Ga，Zn，O透明Amorphous氧化物半导体）中使用的IGZO靶。 为了抑制particle，靶材的高密度化・减少靶材的分割数量，正在向全球大多数显示器制造商提供高质量的IGZO靶材，IGZO用溅射设备和IGZO工艺。 此外，ULVAC成功开发出长度约为3米的大型IGZO靶材。 期待这个大型的IGZO靶材将彻底解决TFT特性的劣化。