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油回转泵
油回转泵
油回转泵VD系列VerC
油回转真空泵，使用真空泵油使得旋转部分非常润滑，真空密封性很高，可实现比较高的排气性能。具有价格便宜、紧凑、安装简便等特点。单个油回转真空泵容易获得真空，具有优良的经济性和操作性。
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油扩散泵
油扩散泵
油扩散泵
ULVAC的ULK型油扩散泵，是在长年的研究和丰富的制造经验的基础上设计的。是一种按临界背压较大来设计的小型高真空排气泵。
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涡轮分子泵
涡轮分子泵
控制器一体型涡轮分子泵
涡轮分子泵是在分子流领域排气速度一定，可进行连续排气。此外，不需要再生等保养作业，对H、He可实现非常高的排气性能。
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低温泵
低温泵
低温泵CRYO-U6H
低温泵是将气体分子在极低温度面凝缩，通过吸附排出所有气体。（特别是水分的排气能力特别高）。真空容器内无物体动作，不使用油，可以获得清洁的真空。和吸附方式的泵一样，排气速度非常大是其显著特点。
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干泵
干泵
干泵LR-HR-UR系列
干泵不使用油或者液体，所以真空腔体内可获得洁净的真空。从大气压到到大压力可大范围应用。
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机械增压泵
机械增压泵
机械增压泵PMB系列Ver. D
通过机械增压泵、油回转泵、干泵等的粗泵组合，在粗泵排气速度下降的压力领域，可大幅提高排气速度。
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溅射离子泵
溅射离子泵
溅射离子泵
离子真空泵，由阳极和阴极构成的泵单元中，由于增加电场的简单原理，没有机械振动和噪音等可获得超·极高真空。
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钛升华泵
钛升华泵
钛升华泵GGT系列
钛升华泵，利用钛的升华作用可获得超高真空。和离子泵一起并用，可以获得极高真空。
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