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CVD设备
纵向式Cat-CVD设备CCV系列
纵向式Cat-CVD设备CCV系列
CCV系列
CCV Series是a-Si镀膜用的纵向式CVD设备。有30年以上的量产实绩。在各个chamber通过低压镀膜，得到高品质的膜质。
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枚叶式PECVD设备CME-200E/400
枚叶式PECVD设备CME-200E/400
CME-200E/400
枚叶式PE-CVD设备CME-200E/400是适用于Si系绝缘膜、barrier膜等成膜的量产用PECVD设备。
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Load-lock式Plasma CVD设备 CC-200/400
Load-lock式Plasma CVD设备 CC-200/400
CC-200/400系列
Load-lock式Plasma CVD设备CC-200/400是小型的使用便利的可对应从研究开发到量产的设备。
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枚叶式等离子CVD设备CMD系列
枚叶式等离子CVD设备CMD系列
CMD系列
CMD系列是用SiH4和TEOS成膜的a-Si膜、氧化硅膜、氮化膜成膜用的枚叶式CVD设备。
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