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真空蒸馏设备CEH系列
真空蒸馏设备CEH系列
CEH系列
该设备的用途是真空蒸馏处理。可在真空下低温短时间蒸馏热感受性高的物质（热分解·重重合的物质）。具有非常优异的分离效率。
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小型冻结真空干燥设备DFM系列
小型冻结真空干燥设备DFM系列
DFM系列
医药领域的少量生产以及，实验用冻结真空干燥设备。具有省空间、低价格、高功能等实验用途要求。为了满足这样的需求，爱发科商品化了DFM系列设备。
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活性化退火设备PFS系列
活性化退火设备PFS系列
PFS系列
PFS系列是SiC工艺等高温处理工艺中，配合使用的退火设备。可最大对应φ 150mm。
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自动氦检漏设备ALT·S系列（SUPER ALT）
自动氦检漏设备ALT·S系列（SUPER ALT）
ALT·S系列
使用He作为检知气体的设备。应用独自的技术，运用全新机构，使得省空间、高速、全自动处理成为可能。
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