无论是最前沿的Cu配线技术，或是新型非挥发性存储器等次世代半导体制造技术，还是LED、功率器件和薄膜锂电池等次世代环境、能源关联技术都进行了开发，统筹制造设备、工艺和材料等各个方面，向客户提供整体制造技术解决方案。

推进MEMS、生物传感器、太能能电池相关计测机器等新领域的开发的同时，通过精细机械技术、真空泵、真空计测器、电子离子应用技术等的开发，为提高各种设备的性能和可靠性做出贡献。

进行FPD、太阳能电池、电子器件、各种薄膜应用等大范围领域的薄膜形成工艺以及高纯度材料、磁性材料、纳米油墨等的制造工艺开发。面向高功能性、高信赖性、高生产性为目标的革命性的次世代制造技术，该研究所的研究正在持续进行中，以促进次世代制造技术的早日实现。

为了开拓长期的成长因子，2015年7月成立了未来技术研究所。该研究所以提出可以创造出革命性的次世代器件的材料或技术方案，同时，可以提出解决地球环境、能源问题的技术方案为使命。