真空标准部件_爱发科商贸(上海)有限公司

设备(按类型分) 设备(按用途分) 真空标准部件材料

真空泵

真空泵

干泵LS系列

爱发科拥有品类十分齐全的干泵、油泵、低温泵、分子泵等等，并提供各种泵的问题诊断和维修服务。
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真空计

真空计

皮拉尼真空计 G-TRAN系列

包含了从大气压开始到真空为止测定的皮拉尼真空计。变送器型真空计是采用传感器和计量回路一体设计（也有分离型），实现省装置成本，省安装空间，省配线的目的。
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检漏仪

检漏仪

检漏仪HELIOT 900系列

爱发科的检漏仪是可对应He检漏的全部需求的全自动检漏装置。
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真空搬运机械手

真空搬运机械手

真空搬送机械手ELEC-RZ

爱发科作为技术和经验丰富的真空器械厂家，爱发科的真空机械手是一种具有洁净且信赖性高的搬送平台。
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软件

软件

设备诊断系统 FABISEQ

通过FABISEQ可采集工艺设备的数据，在软件上进行图表显示。通过设备数据的可视化，可调查发生不良的原因和经过，实现工艺安定性的观察
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光学工艺模拟器

光学工艺模拟器

光学工艺模拟器Optius

通过测定等离子体的发光图线，可实时监视各种各样的等离子体工艺的状况。最适用于反应性溅射的MFC控制和刻蚀的终点检出等。
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