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批次式EI系列
批次式高真空ei系列，是一种在基板上制作金属或氧化膜的设备。
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刻蚀设备
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干法刻蚀设备
对应LED量产专用的干法刻蚀设备｢NE-950EX｣相对我司以往设备实现了140%的生产力。
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溅射设备
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SMD 系列
SMD 系列是镀金属膜、ITO、IGZO、诱电体膜等的枚叶式溅射镀膜设备。
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去胶设备
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NA-1500
从关键的新世代晶圆制程到晶圆级封装，Luminous NA系列可对应广范围的各类晶圆尺寸的各类工艺需求。
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离子注入设备
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高温离子注入设备
搭载了高温ESC（静电吸附卡盘）的面向SiC量产用的高能粒子注入装置。
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CVD设备
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CC-200
CMD系列是用SiH4和TEOS成膜的a-Si膜、氧化硅膜、氮化膜成膜用的枚叶式CVD设备。
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