特征

1）无需冷却水

强制风冷系统无需冷却水

2）高可靠性

作为设备制造商积累的专有技术的反馈到设计"

3）易用性

操作面板采用 LCD 触摸屏，提高了可操作性。

4）扫描波形变化

可创建 XY 扫描、波形编辑、特定区域停留重量控制、圆扫描、圆形式编辑、半径、螺旋和其他各种光束扫描形式。

5）高速电弧关闭功能

高速电弧中断可最大限度地减少沉积速率下降

6）低电平电弧控制功能(光学应用可选)

通过控制光学应用中产生的微小电弧，可以实现稳定的气相沉积。