特征
1)通过安装具有高功率转换效率的射频电路来实现节能
2)通过高速算法进行高速自动匹配
3)射频电源内置自动匹配功能
4)可进行外部模拟控制和串行通信控制。
5)通过基于作为设备制造商多年积累的专业知识进行设计,实现压倒性的可靠性,