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特征
1）由于电子束被电磁场偏转，因此二次电子对沉积体的影响小。
2）即使是可升华的材料,也可以通过扫描x轴和Y轴上的光束点来顺利蒸发,从而消除挖洞现象。(日本国专利 831485号 843447)
3）电子束是 270° 偏转的,因此不会暴露在蒸发材料的蒸气中,灯丝的使用寿命长。
4）发射器组件易于安装和拆卸，便于更换灯丝、绝缘体等。
