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特征
1）它抑制背向散射电子并抑制衬底温度的上升
2）平顶结构减少了电子束蒸发源上的沉积面积，使其易于清洁
3）与以前的型号相比，新的发射器结构将零件数量减少到 60%，使组装更容易
4）可以选择用于金属沉积的带状光束和用于氧化物/化合物的点光束
5）作为设备制造商积累的专有技术的反馈到设计
