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超过800个modules的销售实绩
GaAs、InP、GaN、SiC等化合物半导体
SAW/BAW、功率器件等的金属布线
Piezo-MEMS的PZT和AlScN等压电膜
重大改进
新型离子源“ISM-duo”
各个方向等量排气、大排气量腔体构造
改善冷却效率的基板电极
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