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产品中心 · product center
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产品中心
批次式高真空蒸发设备ei系列
Batch式高真空蒸发设备ei系列是可对应在基板上成金属膜或氧化物膜的设备。可通过操作面板实现抽真空、成膜等作业内容的集中自动化操作,适用于研究开发及少量生产
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产品特性 / Product characteristics
•
可搭载多样蒸发源(EB、电阻式、EB+电阻式)
。
•
对应不同制程可选多种基板holder(lift-off、行星式、卫星式等)。
•
φ2 in〜 6 in基板、矩形基板、Si、化合物、glass、陶瓷灯各种基板对应。
•
液晶触控板集中现实操作。
•
集成电脑拥有优异的操作性和性能(recipe功能、data-logging、maintenance assistant功能)。
产品应用 / Product application
•
Power Device等化合物相关
•
LED、LD、高速device
•
各种实验用
•
其他各种电子部件
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