干法刻蚀设备 APIOS NE-950EX_爱发科商贸(上海)有限公司

对应LED量产专用的干法刻蚀设备｢NE-950EX｣相对我司以往设备实现了140%的生产力。是搭载了ICP高密度等离子源和爱发科自有的星型电极的干法刻蚀设备。

购买咨询

若想了解更多请致电182-2185-4021

产品特性 / Product characteristics
• 4inch晶圆可放置7片同时处理，6inch晶圆可实现3片同时处理，小尺寸晶圆方面，2inch晶圆可实现29片、3英寸可对应12片同时处理。

• 搭载了在化合物半导体领域拥有600台以上出货实绩的有磁场ICP（ISM）高密度等离子源。

• 高生产性（比以前提高140%）。

※1 爱发科专利第3188353号

• 为防止RF投入窗的污染搭载了爱发科星型电极。

※2 爱发科专利第3429391号

• 彻底贯彻Depo对策，实现了维护便利、长期稳定、高信赖性的硬件。

• 拥有丰富的工艺应用的干法刻蚀技术（GaN蓝宝石、各种metal、ITO、SiC、AlN、ZnO、4元系化合物半导体）。

• 丰富的可选机能。
产品应用 / Product application
• 对应LED的GaN、蓝宝石、各种金属、ITO等的干法刻蚀设备
产品参数 / Product parameters

企业情况

公司介绍

集团分布

服务据点

客户支持

设备维修

部品维修

部品·消耗品

表面处理

分析服务

培训服务

服务据点

二手设备

人才招聘

微信公众号

企业信息

公司新闻

展会活动

企业活动

材料

溅射材料

高性能材料

纳米金属油墨

设备

按类型分类

研究开发

研究机构

技术开发的历史

其他

联系我们

网站地图

利用规则cookies

免责申明&权利说明

隐私条款

设备

按用途分类

部品

真空泵

真空计

气体分析计

检漏仪

薄膜测量

光学式工艺显示器

真空阀

超高真空部件

成膜用电源+选项

真空搬运机械臂

软件

分子间相互作用解析装置

微量精密搅拌机