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• 仅基板搬送和侧面镀膜的方式,低particle
• 节约空间的设计
• 可以轻松的完成单独基板管理,如成膜条件
• 根据镀膜物不同选择不同的阴极排列
• 丰富的经验和数据支持,广泛的镀膜工艺对应
• Display(TFT、智能手机、平板电视(2K、4K)、OLED)