服务热线:182-2185-4021
在线留言
联系我们
|
人才招聘
|
Language
|
关于爱发科
公司介绍
集团分布
服务据点
产品中心
设备(按类型分)
设备(按用途分)
真空标准部件
材料
二手设备
解决方案
新闻中心
公司新闻
展会活动
行业活动
售后服务
设备维修
部品维修
部品消耗品
表面处理
分析服务
培训服务
服务据点
关于爱发科
关于爱发科
公司介绍
集团分布
服务据点
研究开发
产品中心
产品中心
真空设备
FPD&PV设备
半导体设备
电子设备
产业机器
真空标准部件
干泵
油泵
低温泵
涡轮分子泵
更多……
二手设备
解决方案
新闻中心
售后服务
关于爱发科
公司介绍
集团分布
销售据点
服务据点
产品中心
设备(按类型分)
设备(按用途分)
真空标准部件
材料
二手设备
解决方案
新闻中心
公司新闻
展会活动
行业活动
售后服务
服务据点
培训服务
分析服务
表面处理
部品消耗品
部品维修
设备维修
产品中心 · product center
首页
/
产品中心
Load-lock式溅射设备CS-200
Load-lock式溅射设备CS-200,是可对应从研究开发到小规模量产的溅射设备。
购买咨询
若想了解更多请致电
182-2185-4021
产品特性 / Product characteristics
•
活用过往的工艺及数据的
K
now-
H
ow,全新的的便利设计
•
在Load-lock室内搭载Cassette机构(可选)提升生产能力
•
基板搬送尺寸最大为. φ300mm(膜厚均一性保证部分为中心φ200mm部份)
•
可对应多个Cathode多层成膜/共溅射
•
可由Touch Panel操作开始自动制程、输入Recipe实现省力化运作
•
可对应Data-logging
产品应用 / Product application
•
成电极膜,多层电极同时成膜
•
电介质膜成膜,绝缘膜,钝化,保护膜等
•
电子部件向研究开发,及小规模生产
产品参数 / Product parameters
产品系列
设备(按类型分)
蒸发设备
退火设备
蒸馏设备
氦检漏设备
冻结干燥设备
卷绕设备
真空炉
CVD设备
离子注入设备
去胶设备
溅射设备
刻蚀设备
其他
设备(按用途分)
FPD&PV设备
半导体设备
电子设备
产业机器
真空标准部件
真空泵
气体分析计
成膜用电源
超高真空部件
微量精密搅拌机
薄膜计测
分子间相互作用解析装置
光学工艺模拟器
软件
真空搬运机械手
检漏仪
真空计
真空阀
材料
高功能材料
纳米金属油墨
溅射靶材
二手设备
搜索