・ 宽范围测定:可测定从大气压到高真空领域(10+5〜5×10-8Pa)(SPU・SAU同时使用的情况下)
・ 可连接不同测定范围的测定子:采用了复合离子真空计(专利申请中),可选择不同测定子对应不同用途
・ 大气压测定准确:容易准确测定大气压(使用SAU的情况下)
・ 低环境负荷对应:由于只需替换对应的测定子,可降低使用成本
・ 辨识性的提高:搭载可确认异常的LED
・ 维修性:测定子易于替换
・ 测定值输出信号:输出压力0 〜 10V(Log输出)
・ 控制输出信号:设定点3点输出(SH2-1)
・ 串行通信规格:RS232C/RS485通信(SH2-2)
・ 适合规格:对应CE标准
・ 用于太阳能电池·FPD·半导体·电子器件等各种制造设备的高真空领域的工艺控制
・ 用于in-Line式·枚叶式等多工艺腔体的各种制造设备的高真空领域的压力到达确认
・ 用于高真空·超高真空设备的压力测定
■各模式规格:SH2-1/SH2-2复合离子计单体、SH2-1/SH2-2和皮拉尼真空计的组合模式、SH2-1/SH2-2·皮拉尼真空计·大气压传感器组合的组合模式等三种模式可供选择。