G-TRAN系列复合离子真空计SH2-1/SH2-2_爱发科商贸(上海)有限公司

ULVAC开发并商品化了可连接不同测量范围的测定子的“G-TRAN系列复合离子真空计”（专利申请中）。以往将数个原理一体组合的复合型真空计给用户带来以下困扰：“一个测定子故障则必须全部测定子都需更换”、“由于测定子复杂容易故障”、“测定子价格高昂” 等。这种新的方式，不但可以宽范围测量，还可大幅控制使用成本，对应低环境负荷。

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若想了解更多请致电182-2185-4021

产品特性 / Product characteristics
・宽范围测定：可测定从大气压到高真空领域（10+5〜5×10-8Pa）（SPU・SAU同时使用的情况下）

・可连接不同测定范围的测定子：采用了复合离子真空计（专利申请中），可选择不同测定子对应不同用途

・大气压测定准确：容易准确测定大气压（使用SAU的情况下）

・低环境负荷对应：由于只需替换对应的测定子，可降低使用成本

・辨识性的提高：搭载可确认异常的LED

・维修性：测定子易于替换

・测定值输出信号：输出压力0 〜 10V（Log输出）

・控制输出信号：设定点3点输出（SH2-1）

・串行通信规格：RS232C/RS485通信（SH2-2）

・适合规格：对应CE标准
产品应用 / Product application
・用于太阳能电池·FPD·半导体·电子器件等各种制造设备的高真空领域的工艺控制

・用于in-Line式·枚叶式等多工艺腔体的各种制造设备的高真空领域的压力到达确认

・用于高真空·超高真空设备的压力测定
产品参数 / Product parameters
■各模式规格：SH2-1/SH2-2复合离子计单体、SH2-1/SH2-2和皮拉尼真空计的组合模式、SH2-1/SH2-2·皮拉尼真空计·大气压传感器组合的组合模式等三种模式可供选择。

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