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产品中心 · product center
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溅射离子泵PST-030CU/AU
溅射离子泵是在超高真空具有代表性的泵的一种。在很多分析仪器、加速器中使用。ULVAC开发了极·超高真空领域强化排气性能的新型元件(Actor元件),配合适化的磁场,开发了『Actor Pump』。
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产品特性 / Product characteristics
•极·超高真空对应。使用ISO规格的Test Doom实证可达到10-9Pa真空度。
•稀有气体排气强化型(AU型)实现了对Ar的2倍排气性能。(本公司比)
•在超高真空领域实现了较大的排气速度。
•可在短时间内排气达到超高真空领域。
•在超高真空领域优秀的启动特性。(到超高真空领域为止持续放电)
产品应用 / Product application
• 加速器
• 电子显微镜
• 分析仪器
产品参数 / Product parameters
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