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• 采用了独特的测定方式,实现了高速化与轻便化。
• UNECS-1500A/2000A/3000A通过自动R-θStage和自动对焦机能来快速自动测定基板内的膜厚分布,将结果表示在ColorMap上。
• 高速测定: 采用了独特的抓拍方式,实现了最快20ms的高速测定
• 可视分光应对: 波长范围可以在标准型(530nm-750nm)与可视分光型(380nm-760nm)之间进行选择
• 轻便的Sensor Unit: 投受光Sensor没有回转机构,单由光学粒子非常轻便,也不需要定期的维护
• 丰富的产品类型: 以独特的ProtableType设计为出发点,衍生出了Manual/Auto-StageType、大型基板Type与对应大气/真空环境的Build-In Type等,我们准备了各式各样的产品来对应各种不同的用途。
• 用于透明或半透明薄膜(酸化膜、窒化膜、Resist、ITO等)的膜厚、折射率、衰减系数的测定。