• 真空密封采用磁流体密封,可对应到10-6Pa的高真空。
• 应用小型化的调节器实现紧凑化,容易搭载到设备上。
• 通过行程、旋转半径、手臂数量等可以进行多种手臂选择。
• 具有多功能的优越操作性能、采用显示器式示教悬挂。
• 各种半导体用设备的晶圆搬送。
• 规格:
*安装的手臂根据不同手系不同。