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产品中心 · product center
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产品中心
钛升华泵GGT&PGT系列
钛升华泵(GGT-3、PGT系列),钛合金在真空中直接通电使得钛升华的单元。升华的钛在周围壁面制造大量活性金属表面,吸附化学性能活泼的气体(H2、N2、O2、H2O、CO、CO2)进行排气。钛的活性金属表面不具备对非活性气体(He、Ne、Ar、CH4、C2H6、其他有机气体)的吸附能力,所以要和涡轮分子泵、溅射离子泵等配合使用。
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产品特性 / Product characteristics
•
通过选择适合系统设计的Ti吸附面积,可获得很大的排气速度,提高到达压力性能。
•
T连接法兰部是刀口型金属密封(UFC),最高可达250℃Back-out。
•
构成材料全部进行了适合超高真空的表面处理。
产品应用 / Product application
•
超高真空的排气系统
•
各种成膜设备(蒸发・溅射等)中,作为提高高真空泵的到大压力的辅助泵。
•
各种实验、研究用设备中,
作为提高高真空泵的到大压力的辅助泵。
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